广州HFS4001微型气体流量计
详细描述
广州HFS4001小流量气体质量流量传感器是**门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。
产品特点：
- 传感器灵敏度高，有极小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，**了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据(RS232)，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
- 零点稳定度高
- **量程高稳定性、高度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
机械尺寸：
技术参数：
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HFS4001 | ||
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0～30,100,200,500,1000, |
sccm |
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量程比 |
>100：1 |
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精度 |
±（1.5±0.5FS） |
% |
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重复性 |
±0.25 |
% |
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零点输出飘逸 |
±30 |
mV |
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输出飘逸 |
0.2 |
%/oc |
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响应时间 |
4，8，16，33，65，131 |
ms |
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工作电源 |
8~18Vdc,50mA |
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输出方式 |
RS232,模拟电压0.5~4.5Vdc |
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流量压损 |
350 300 |
Pa |
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流量压力 |
0.5 |
MPa |
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工作温度 |
-5~+55 |
oC |
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存储温度 |
-20~+65 |
oC |
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工作湿度 |
<95%RH(无结冰、无凝露) |
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机械接口 |
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校准方式 |
空气（或其他气体），20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
广州昊仪自动化设备有限公司
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